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開放式光柵尺位移大小和方向的檢測

作者: 來源: 日期:2023/4/14 10:20:33 人氣:4684

開放式光柵尺位移大小和方向的檢測

 

1.開放式光柵尺位移大小的檢測

由于莫爾條紋的移動(dòng)與兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)是相對(duì)應(yīng)的,故通過檢測 這4個(gè)電壓信號(hào)的變化情況,便可相應(yīng)地檢測出兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)。 每變化一個(gè)周期,即莫爾條紋每變化一個(gè)周期,表明兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)了一個(gè)柵距的距離;若兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)不到一個(gè)柵距,因 是余弦函數(shù),故根據(jù) 之值也可以計(jì)算出其相對(duì)移動(dòng)的距離。

 

2.開放式光柵尺位移方向的檢測

若標(biāo)尺光柵固定不動(dòng),指示光柵沿正方向移動(dòng),這時(shí),莫爾條紋相應(yīng)地沿向下的方向移動(dòng),透過觀察窗口A和B,光敏元件檢測到的光強(qiáng)度變化過程 和及輸出的相應(yīng)的電壓信號(hào)在這種情況下,滯后的相位為/2;反之,若標(biāo)尺光柵固定不動(dòng),指示光柵沿負(fù)方向移動(dòng),這時(shí),莫爾條紋則相應(yīng)地沿向上的方向移動(dòng),透過觀察窗口A和B,光敏元件檢測到的光強(qiáng)度變化過程和 及輸出的相應(yīng)的電壓信號(hào),在這種情況下,超前的相位為/2。因此,根據(jù)和兩信號(hào)相互間的超前和滯后關(guān)系,便可確定出兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)方向。

 

工作原理:

直線光柵尺和旋轉(zhuǎn)編碼器均依據(jù)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的原理來產(chǎn)生光信號(hào),這些信號(hào)經(jīng)過光電器件的轉(zhuǎn)換處理后,用來檢測機(jī)械裝置的位移。大星精密采用兩種不同的材料來產(chǎn)生反饋信號(hào):

1.刻線玻璃尺(直線光柵尺 有效測量長度3米以下使用)刻線玻璃盤片(旋轉(zhuǎn)編碼器)

2.刻線鋼帶尺(直線光柵尺 有效測量長度3米以上使用)

 

開放式光柵尺規(guī)格

分辨率

0.05μm/ 0.1μm/0.2μm/0.5μm/1.0μm/ 5.0μm

精度/米
雙層尺帶
±1μm /±2μm / ±3μm / ±5μm
單層尺帶
±5μm / 其它可定制
最大速度
10m/s (對(duì)于正弦信號(hào))  1.6m/s (R:0.1μm)
讀頭尺寸
34mm x 13.2mm x 12.4mm
光柵周期
20μm / 100μm
尺帶材料,熱膨脹系數(shù)
不銹鋼,10.5x10-6grd-1
輸出信號(hào)
1Vpp / RS422
參考原點(diǎn)
標(biāo)準(zhǔn): 固定距離 ,每50mm一個(gè)/其他可定制

下一個(gè):開放式光柵尺測量注意事項(xiàng)
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